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      百度愛采購店鋪：https://b2b.baidu.com/shop/50136699
      
                        劉經(jīng)理：152-5621-8430（微信同步）
                        
      張經(jīng)理：180-1997-1423（微信同步）
                        
      范經(jīng)理：184-5516-7984（微信同步）
                                                
                       
                    
      
                
      
            
      
            
        
      
        
        
      
            
      
                
                
        
      
        
        
    
      

      


      
    
      
        
      
            
            
        
      
        
    
      

      


      



      
    
      
        
      

            
            
      
                
      
                    
                    
      
                        
      
                            
      PECVD系統(tǒng)
      
                        
      
                                                
      
                            產(chǎn)品概述：OYS-1200C-II-60-PECVD是一款中型滑動開啟式PECVD系統(tǒng)。此款成套設(shè)備配有等離子射頻電源，三路質(zhì)量流量混氣系統(tǒng)（量程為1-100SCCM，1-200SCCM，1-200SCCM）,直徑為60mm的開啟式管式爐（帶真空法蘭和連接管道）及機(jī)械泵組成。                        
      
                                            
      
                
      
                
      
                    
                    
        
                        
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        • ?電源：220V  50/60Hz
          ?額定功率：3.1 KW 
          ?最高工作溫度：1200℃（＜0.5 h）
        ?連續(xù)工作溫度：≤1100℃
        ?推薦升溫速率：≤10℃/min
        ?加熱區(qū)長度：440mm
        ?熱電偶：K 型
        ?加熱元件：鐵鉻鋁合金絲0Cr21Al6Nb
        ?爐管尺寸：石英管口徑可選φ60 
        ?控溫精度：±1℃
                                        
        
                            
        
                        
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        詳細(xì)描述：
        
                                

        技術(shù)參數(shù)
        產(chǎn)品型號
        滑動PECVD管式爐系統(tǒng) —— OYS-1200C-II-60-PECVD（φ60）
        主要產(chǎn)品參數(shù)
        ?電源：220V  50/60Hz
        ?額定功率：3.1 KW 
        ?最高工作溫度：1200℃（＜0.5 h） 
        ?連續(xù)工作溫度：1100 ℃
        ?推薦升溫速率：≤10℃/min
        ?加熱區(qū)長度：440mm 
        ?熱電偶：K型
        主要特點
        ?射頻電源可以實現(xiàn)等離子增強(qiáng)從而顯著降低實驗溫度；
        ?可通過爐體滑動達(dá)到快速升降溫；
        ?可以通過射頻電源的頻率來控制薄膜的應(yīng)力；
        ?可通過工藝調(diào)節(jié)控制化學(xué)計量；
        ?可沉積各種材料，如SiOx,SiNx,SiOxNy和（a-Si:H）等；
        加熱元件
        ?鐵鉻鋁合金絲0Cr21Al6Nb
        爐管尺寸
        ?石英管口徑可選:φ60 
        溫控系統(tǒng)
        ?包含一款YD858型溫度控制器；PID控制和自整定調(diào)節(jié)，智能化50段可編程控制，具有超溫和斷偶報警功能；
        ?控溫精度：±1℃
        等離子射頻電源
        300W射頻電源
        ?輸出功率：0-300W可調(diào)
        ?射頻頻率：13.56MHZ
        ?自動匹配
        ?噪音＜50dB
        ?冷卻方式：風(fēng)冷
        ?輸入電壓：AC180-250V
        真空密封
        法蘭接口
        ?標(biāo)配：一對不銹鋼密真空法蘭和高溫硅膠密封圈；出氣端為三口法蘭分別為K16,KF25,φ8.2
        ?出氣端法蘭上可以選擇KF25的轉(zhuǎn)接頭與波紋管相連接再于真空泵相連；
        真空泵
        ?采用雙旋片式機(jī)械真空泵TRP-12   
        ?真空度可以達(dá)到10-2torr；
        ?真空連接配件配有KF25卡箍及不銹鋼波紋管用于連接管式爐與真空泵； 
        供氣系統(tǒng)
        三路質(zhì)量流量混氣系統(tǒng)---GYS-3Z
        ?電源：220V 50/60HZ
        ?量程范圍分別為1-100SCCM，1-200SCCM，1-200SCCM
        ?有一機(jī)械壓力表安裝在前面板上，與混氣管相連接
        ?壓力表量程:-0.1~0.15MPa
        ?混氣罐尺寸: φ80*120mm
        ?內(nèi)部連接管道為?6.35
        爐體結(jié)構(gòu)
        ?爐體可以左右位移 ，射頻電源可以左右位移，爐體和射頻電源同時安裝在同一個滑軌上，使用同一根石英管
        認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn)及核心零部件
        ?整機(jī)核心部件均符合CE、UL、MET等認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn)；核心零部件有ABB電器元件，UL認(rèn)證電線、電纜，歐米茄，宇電、歐陸儀表等。
        注意事項
        ?爐管內(nèi)氣壓不得高于0.02MPA；
        ?由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為 0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全；
        ?對于樣品加熱的實驗，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生(如爐 管破裂，法蘭飛出等)；
        ?氣體的流量應(yīng)限制在<200 SCCM(或200ml/ min)
        售后
        ?質(zhì)保期一年，終身維護(hù)，24小時在線服務(wù)；
        ?特別提示：耗材部分如加熱元件、爐管、坩堝等不包括在內(nèi)；因使用腐蝕性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。

                                    
        
                        
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